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簡(jiǎn)要描述：【產(chǎn)品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)【爐管尺寸】φ40--φ100mm【加熱區(qū)】300mm/440mm 【額定溫度】1200℃【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】PECVD系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成。
產(chǎn)品型號(hào)：STGC-60-12廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2023-11-16訪 問(wèn) 量：1166詳細(xì)介紹
| 品牌 | 三特爐業(yè) | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | 90/min |
|---|---|---|---|
| 加熱方式 | 電阻式 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
商品描述
【產(chǎn)品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)
【爐管尺寸】φ40--φ100mm
【加熱區(qū)】300mm/440mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成， 本設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內(nèi)形成等離子體，利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性，改善反應(yīng)條件，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)，最終得到基片上沉積出所期望的薄膜。
性能特點(diǎn)：
CVD管式爐系統(tǒng)由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源
管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區(qū)的長(zhǎng)度，爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭；
真空獲得系統(tǒng)可根據(jù)試驗(yàn)要求選擇不同的真空泵，旋片式機(jī)械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空機(jī)組真空度1×10-4pa；
氣路供氣系統(tǒng)可選擇3路浮子手動(dòng)和3路自動(dòng)質(zhì)量流量系統(tǒng)
真空測(cè)量為數(shù)字復(fù)合真空機(jī)或皮拉尼真空計(jì)
等離子體放電選擇13.56Mhz的設(shè)備電源，功率輸出可選擇200W、300W和500W
管式爐可選擇單溫區(qū)300mm和440mm，也可選擇三溫區(qū)或多溫區(qū)進(jìn)行溫度的梯度試驗(yàn)
溫控器內(nèi)置的RS485數(shù)字通信端口和USB適配器作為可選配置，可連接PC，用于系統(tǒng)的遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視，還可以保存或?qū)С鰷y(cè)試結(jié)果。
產(chǎn)品符合歐盟CE標(biāo)準(zhǔn)。
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